(1)

à¸žà¸±à¸ªà¸”à¸¸à¸˜à¸²à¸£ à¸ˆ.; à¸”à¸³à¸£à¸‡à¸Šà¸±à¸¢ à¸ž.; à¸ªà¸–à¸´à¸£à¸°à¸žà¸ˆà¸™à¹Œ à¹€. à¸à¸²à¸£à¸—à¸”à¸ªà¸à¸šà¸›à¸£à¸°à¸ªà¸´à¸—à¸˜à¸´à¸ à¸²à¸žà¸‚à¸à¸‡à¹€à¸„à¸£à¸·à¹ˆà¸à¸‡à¸£à¸±à¸šà¸ªà¸±à¸à¸à¸²à¸“à¸ˆà¸µà¹€à¸à¹‡à¸™à¹€à¸à¸ªà¹€à¸à¸ªà¹à¸šà¸šà¸¢à¸µà¸à¸à¹€à¸”à¸•à¸´à¸ à¸—à¸µà¹ˆà¸¡à¸µà¹€à¸‹à¸™à¹€à¸‹à¸à¸£à¹Œ MEMS à¹à¸¥à¸° IMU à¹‚à¸”à¸¢à¸§à¸´à¸˜à¸µà¸à¸²à¸£à¹‚à¸„à¸£à¸‡à¸‚à¹ˆà¸²à¸¢à¸”à¸²à¸§à¹€à¸—à¸µà¸¢à¸¡à¹à¸šà¸šà¸ˆà¸¥à¸™à¹Œà¹ƒà¸™à¸—à¸±à¸™à¸—. ncce27 2022, 27, SGI16-1.